第一、测量结束后，需要退出系统，关闭电脑，切断电源及气源。
第二、每个工作日打开过滤器的阀门放一次水。
第三、轮廓仪配件要注意防锈。
第四、测量完毕后用棉花拈航空汽油清洗工作台及夹具，并涂油防锈。
第五、需要定期（时间视环境定）清洁气浮导轨，以保证导轨的精度。
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